YAG使用的是用3DLW设计的湿法光刻纳米孔光栅【亚博】

企业新闻 | 2020-11-21
本文摘要:YAG(钇铝石榴石)晶体中的亚波长散射光栅和MOW(微结构光波导)。(图像来源:NaturePhotonics)迈尔斯咨询指出,材料的光学特性有化学性质和固有的亚波长结构的要求,但后者还是密切相关的。

YAG (钇铝石榴石)晶体中的亚波长散射光栅和MOW (微结构光波导)。a )在红外线太阳光下,长度为厘米级,间距为700nm的格子图像。

光栅

b )实验计算了波长1070nm的亚波长光栅(间距700nm )的语义著散射效率。计算式是散射功率除以从入射光到映射光栅的功率。Errorbars图对应于~0.07%的实验标准偏差。插图:制作的光栅扫描电子显微镜(SEM )特写图像。

c )六角形结构的光波导,水平孔距离500nm,平均孔径166nmx386nm,长度4mm。d )波长1550nm、862nm (横向)和972nm (水平方向)的半值宽度仅是FWHM (全宽度maximum )中的模拟强度模式。

e )在e)1550nm下测量的波导输入模式的散射有限近场图像,FWHM约为~1.5m。(图像来源: NaturePhotonics )迈尔斯咨询指出,材料的光学特性有化学性质和固有的亚波长结构的要求,但后者还是密切相关的。光子晶体和超强的材料已经证明了这一点,它们可以通过表面的转换得到打破新材料未知自然光学特性的光操作。但是,在过去30年的研究中,现有的技术方法与材料表面以外的纳米结构的硬脆性光学晶体中扩大理解的光学密切相关,与应用有关。

结构

例如,半导体行业开发的激光光刻是表面处理技术,用于有效地光刻多种材料,还包括硅、石英玻璃、聚合物等。该工艺用于生产高质量的二维(2D )纳米光子器件,可扩展到三维(3D ),20年前红外飞秒激光级的写入技术已经证明了这一点。但是,光单体的构造不能与其他光学元件粘接,因此不现实。3D纳米结构光纤获得了远远超过通常非结构化玻璃可获得的功能,使非线性光学和光通信再次发生了革命性的变化,但在晶体介质上开展可靠的材料生产依然很困难。

结构

作为替代方法,需要用激光诱发的绝缘破坏或在半透明晶体内启动时的微探子加工3D纳米结构,在那里产生空隙,构成亚微米结构。但是,这种方法不会扩大晶格损伤,也不会有裂缝发展的风险。因此,尽管科学家们牺牲了很多希望,但大规模的3D晶体纳米结构的标准方法还没有报道。最近发表在《大自然光子学》 (NaturePhotonics )杂志上的研究表明,AiranRodenas及其光子学、纳米技术研究所和物理系的同事们超过了现有的晶体纳米结构工程设计方法。

光栅

他们明确提出了利用晶体的湿法光刻速度和多光子3D激光水平写入技术(3DLW ),在纳米尺度上局部改变晶体的内部化学反应活性,构成粒子纳米孔晶格的方法。据跨学科科学家介绍,在100nm范围内具有规定特征的厘米级长度的空穴光栅可以在钇铝石榴石(YAG )和蓝宝石等重要晶体内部生成,并被普遍实用化。Rodenas等人在光刻之前展开了必要的激光加载,在固体激光晶体内部产生光子,应用于必要的空穴结构。

YAG使用的是用3DLW设计的湿法光刻纳米孔光栅。


本文关键词:光栅,散射,波长,网页登陆,光刻

本文来源:亚博-www.moultonretail.com